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提供一种能够形成适合剥离的图案形状的正型抗蚀剂组合物。一种正型抗蚀剂组合物，其包含(A)特定的聚合物、(B)具有酰亚胺基的产酸剂、(C)溶解速度调节剂，和(D)溶剂。和(D)溶剂。
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