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角速度传感器制造技术
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下载角速度传感器的技术资料
文档序号:30745311
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提供了一种在尺寸上减小且在灵敏度上提高的角速度传感器。锚定器构件(7)支持框架状构件(6)。第一输入电极(81)位于框架状构件(6)的外侧以与框架状构件(6)分离,并且固定到基板(2)。第二输入电极(82)包括位于框架状构件(6)的外侧且连...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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