【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】角速度传感器
[0001]本公开总体涉及角速度传感器，具体涉及包括重量构件的角速度传感器。
技术介绍
[0002]作为角速度传感器，由用于SOI晶片的批量微加工工艺生产的陀螺仪是已知的(专利文献1)。
[0003]专利文献1中描述的陀螺仪包括四个结构组件(齿部40)。结构组件包括重量构件(检测质量24)、锚定器构件(锚定器20)、围绕重量构件的四个框架状构件(驱动模式梭(drive
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mode shuttle)26、感测模式梭22)、驱动部(差分横向梳或平行板电极34)和检测部(差分平行板电极36)。
[0004]希望在灵敏度上提高且在尺寸上减小的角速度传感器。
[0005]引用列表
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：US 8322213 B2
技术实现思路
[0008]本公开的目的是提供尺寸减小的且灵敏度提高的角速度传感器。
[0009]根据本公开的一个方面的角速度传感器包括基板和结构组件。结构组件设置在基板的主表面侧。结构组件包...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种角速度传感器，包括：基板；以及结构组件，设置在所述基板的主表面侧，所述结构组件包括：重量构件，框架状构件，在与关于所述基板限定的厚度方向正交的规定方向上与所述重量构件对准，并且能够在所述规定方向上位移，弹性构件，将所述重量构件连接到所述框架状构件，并且能够在与关于所述基板限定的所述厚度方向和所述规定方向正交的方向上弹性变形，锚定器构件，支撑所述框架状构件并且固定到所述基板，第一输入电极，位于所述框架状构件的外侧以与所述框架状构件分离，并且固定到所述基板，第二输入电极，包括位于所述框架状构件的外侧并且连接到所述框架状构件的电极部，所述第二输入电极面对所述第一输入电极并且能够在所述规定方向上位移，第一参考电极，位于所述框架状构件的内侧并且固定到所述基板，以及第二参考电极，包括位于所述框架状构件的内侧并且连接到所述框架状构件的电极部，所述第二参考电极面对所述第一参考电极并且能够在所述规定方向上位移，在所述结构组件中，在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，所述第一输入电极与所述第二输入电极的所述电极部在所述规定方向上位于所述框架状构件与所述重量构件之间。2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中：在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，所述重量构件具有为多边形形状的外周形状，所述结构组件包括多个集合，每个集合包括所述弹性构件、所述框架状构件、所述第一输入电极、所述第二输入电极、所述第一参考电极和所述第二参考电极，并且所述多个集合被布置为使所述第二输入电极在所述重量构件的外侧一对一地面对所述多边形形状的边。3.根据权利要求1或2所述的角速度传感器，其中：所述弹性构件位于所述重量构件的外侧。4.根据权利要求1至3中任一项所述的角速度传感器，其中：所述结构组件还包括从所述框架状构件朝着所述锚定器构件突出的凸出部，所述锚定器构件具有所述凸出部所处的凹陷部，以及在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，在所述凸出部与所述凹陷部之间设置有间隔。5.根据权利要求1至4中任一项所述的角速度传感器，其中：在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，作为所述锚定器构件的第一锚定器构件在与所述规定方向正交的方向上与所述框架状构件相邻，并且所述结构组件还包括固定到所述基板的第二锚定器构件，在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，所述第二锚定器构件位于所述第一锚定器构件与所述重量构件之
间，并且连接到所述第一锚定器构件。6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其中：所述结构组件还包括固定到所述基板的第三锚定器构件，在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，所述第三锚定器构件位于所述第二锚定器构件与所述重量构件之间，并且连接到所述第二锚定器构件。7.根据权利要求1至6中任一项所述的角速度传感器，其中：所述第一参考电极包括多个第一梳齿，所述第二参考电极包括：基部；以及作为所述第二参考电极的所述电极部的多个第二梳齿，所述多个第二梳齿从所述基部延伸，所述多个第一梳齿和所述多个第二梳齿在所述规定方向上一一交替对准并且彼此分离，并且所述框架状构件的一部分也用作所述第二参考电极的所述基部。8.根据权利要求1至7中任一项所述的角速度传感器，其中：除了作为所述弹性构件的第一弹性构件之外，所述结构组件还包括第二弹性构件，所述第二弹性构件将所述框架状构件连接到所述锚定器构件并且能够弹性变形，在关于所述基板限定的所述厚度方向上的平面图中，所述第一弹性构件具有至少一个第一折叠部，所述第二弹性构件在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：田路翔一，相泽宏幸，平冈聪一郎，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：
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