下载一种晶圆检查机定位装置的技术资料

文档序号:30734004

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本实用新型公开了一种晶圆检查机定位装置,包括底座,底座上固定有操作台,操作台上设置有条形孔,条形孔内滑动紧贴有限位杆,限位杆上固定有夹座,夹座上固定有硅胶垫,操作台上摆放有晶圆本体,硅胶垫与晶圆本体紧贴接触。通过四个方向的夹座同时移动,能够...
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