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本实用新型提供一种硅片清洗机构，至少包括：槽体部和向所述槽体部喷水的喷水部；所述槽体部包括用于放置若干片篮的本体和用于收集从所述本体中溢出水流的溢流槽；从所述喷水部向所述本体喷水，所述本体中的水溢流至所述溢流槽后，再重新经所述喷水部进入所述...
该专利属于天津市环智新能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环智新能源技术有限公司授权不得商用。

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