温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及晶片加工技术领域，公开一种防液体溅射的晶片加工台，包括依次布置的清洗区、甩片区和检验区，各区域具有底板，相邻区域之间通过隔板隔开，清洗区和甩片区之间还设有防止液体飞溅至甩片区和检验区的挡板。挡板工作过程中充当清洗区和甩片区之间...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。