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本实用新型公开了一种晶圆氧化膜边缘去除机，包括储液箱，以及设于固定板上方的晶圆本体、稳定架、第一夹块、第二夹块、滑块，固定板上设置有高速电机、轴承座、导杆，储液箱内设有打磨轮，打磨轮上设有主轴，轴承座上转动设置有调节螺杆，滑块上设有螺孔，螺...
该专利属于永清县良晶半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过永清县良晶半导体设备有限公司授权不得商用。

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