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本发明涉及一种用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法，用于使一无线静电载盘与一薄化基板的自动粘合与粘合后的自动解离，该系统包含有一机体、至少一个传输装置、至少一个烘烤装置、至少一个预对位装置及至少一个粘脱设备所组成，其中粘脱设备...
该专利属于特铨股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特铨股份有限公司授权不得商用。

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