下载一种金刚石膜生长方法、具有金刚石膜的硅片与应用的技术资料

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本申请公开了一种金刚石膜生长方法、具有金刚石膜的硅片与应用,所述生长方法包括将硅片浸泡在金刚石粉分散液中,得到预处理后的硅片,其中,所述硅片的一面设有由沟槽形成的图形;对所述预处理后的硅片进行热丝化学气相沉积,得到具有金刚石膜的硅片,所述金...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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