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磁阻效应器件,磁阻头及制造磁阻效应器件的方法技术
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文档序号:3070168
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本发明的磁阻效应器件包括一个多层膜。该多层膜包括反铁磁膜、第一铁磁膜、非磁膜、及第二铁磁膜,它们以此顺序直接地或通过一下层设在非磁衬底上。反铁磁膜包括α-Fe↓[2]O↓[3]膜。多层膜的表面粗糙度约为0.5nm或以下。...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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