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本发明提供一种气相外延系统，包括载盘支撑装置、盖体、反应室、供气系统及排气室，载盘支撑装置穿过盖体，盖体与载盘支撑装置连接；反应室包括内腔室和外腔室，内腔室为反应腔，内腔室设置于外腔室中；供气系统位于反应室的一端部；内腔室包括第一分体和第二...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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