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离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法技术方案
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下载离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法的技术资料
文档序号:30682110
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本发明提供了一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法,包括干涉仪、平行平晶、补偿器和离轴非球面组件;干涉仪提供光源并检测非球面面形误差;干涉仪发射的光束依次透过平行平晶、补偿器到达离轴非球面组件进行反射,所述离轴非球面组件反射出...
该专利属于上海卫星装备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海卫星装备研究所授权不得商用。
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