离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法，包括干涉仪、平行平晶、补偿器和离轴非球面组件；干涉仪提供光源并检测非球面面形误差；干涉仪发射的光束依次透过平行平晶、补偿器到达离轴非球面组件进行反射，所述离轴非球面组件反射出的光线依次透过补偿器、平行平晶进入干涉仪内部的探测器，进入所述干涉仪内部的光线与干涉仪内部的参考光进行干涉，形成干涉条纹，并计算得出非球面面形误差。本发明专利技术可以快速、无损且精确的测量和计算出离轴非球面镜光轴与支撑结构安装面之间的夹角。本发明专利技术利用目前的精密仪器设备和光学元件，对光学镜面无损伤、检测精度高、耗时短，是一种快速高精度无损检测技术。是一种快速高精度无损检测技术。是一种快速高精度无损检测技术。

【技术实现步骤摘要】
离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法


[0001]本专利技术涉及离轴非球面组件检测的
，具体地，涉及一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法。尤其是，优选的涉及一种离轴非球面镜光轴与支撑结构安装面夹角的光学测量系统及方法。

技术介绍

[0002]目前研究的离轴光学系统大都是朝着大口径、大视场、高分辨率成像的方向发展，这就使得离轴非球面镜的口径越来越大，随之引来的加工问题也日益凸显。传统的方法是先加工一个母镜然后再切割离轴非球面子镜，这种方法的优点是镜子的形位公差可以控制的较好，缺点是难以加工出如此大的母镜材料，且对于加工设备的尺寸和体积要求也非常高，难以满足；现在针对大口径离轴非球面镜的加工，大多采用的加工方法是，先选择比离轴非球面镜轮廓尺寸稍大的坯料，然后直接在该坯料上进行离轴加工，这种方法的优点是降低了对于材料尺寸和加工设备的要求，缺点是难以控制离轴非球面镜光轴与背部基准之间的形位公差。离轴非球面镜与支撑结构之间的粘接配合是以离轴非球面镜背部为基准，进而使得离轴非球面镜的光轴与支撑结构安装面之间会产生一个二面角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，其特征在于，包括干涉仪(1)、平行平晶(2)、补偿器(4)和离轴非球面组件；所述干涉仪(1)提供光源并检测非球面面形误差；所述干涉仪(1)发射的光束依次透过平行平晶(2)、补偿器(4)到达离轴非球面组件进行反射，所述离轴非球面组件反射出的光线依次透过补偿器(4)、平行平晶(2)进入干涉仪(1)内部的探测器，进入所述干涉仪(1)内部的光线与干涉仪(1)内部的参考光进行干涉，形成干涉条纹，并计算得出非球面面形误差。2.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，其特征在于，所述补偿器(4)与离轴非球面组件之间的距离为预定距离。3.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，其特征在于，所述离轴非球面组件采用平面波检测补偿光路设计，所述干涉仪(1)发射的光束为平行光。4.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，其特征在于，所述离轴非球面镜(5)采用背部支撑方式，离轴非球面镜(5)与支撑结构(6)之间采用胶粘连接。5.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测试系统，其特征在于，还包括平面反射镜(7)，所述离轴非球面组件包括离轴非球面镜(5)和支撑结构(6)，所述离轴非球面镜(5)安装在支撑结构(6)上，且支撑结构(6)设置在离轴非球面镜(5)背离干涉仪(1)的一侧；所述平面反射镜(7)设置在支撑机构靠近离轴非球面镜(5)母轴的安装面上。6.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，其特征在于，还包括经纬仪(3)，所述经纬仪(3)发射的激光方向与干涉仪(1)发射的光束指向重合。7.一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量方法，其特征在于，应用权利要求1
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6任一所述的一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统，包括如下步骤：步骤1：建立零视场基准；步骤2：根据所述零视场基准调节离轴非球面镜(5)补偿检测光路；步骤3：根据所述零视场基准和离轴非球面镜(5)补偿检测光路测量并计算出离轴非球面镜(5)光轴与支撑结构(6)安装面之间的夹角。8.根据权利要求1所述的离轴非球面镜光轴与安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜守望，姜婷，孙永雪，李太平，胡继宝，
申请(专利权)人：上海卫星装备研究所，
类型：发明
国别省市：