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装置包括具有导电形成结构的平面基板，该导电形成结构限定基板集成波导测试谐振器；测试谐振器包括至少部分地形成在基板内的三维区域，该区域具有平行于基板的平面延伸的第一和第二平面导电层，以及一个或多个垂直于基板的平面的导电侧壁形成结构，限定绕三维...
该专利属于索尼半导体解决方案公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼半导体解决方案公司授权不得商用。

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