下载一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器的技术资料

文档序号:30672301

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本实用新型提出了一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器,包括电极,所述电极包括基底薄膜,所述基底薄膜之间设置有电介层薄膜,所述电介层薄膜包括PDMS—PS聚合物,所述基底薄膜对应所述电介层薄膜的一侧设置有微结构,另一侧设置导电薄膜,两...
该专利属于温州大学所有,仅供学习研究参考,未经过温州大学授权不得商用。

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