一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器制造技术

本实用新型专利技术提出了一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器，包括电极，所述电极包括基底薄膜，所述基底薄膜之间设置有电介层薄膜，所述电介层薄膜包括PDMS—PS聚合物，所述基底薄膜对应所述电介层薄膜的一侧设置有微结构，另一侧设置导电薄膜，两侧电极通过胶布与导线连接。通过采用上述技术方案，电介层薄膜采用PDMS—PS聚合物，受压易变形，由于材料的弹性其电容也会随着改变，从而进一步引起电流的变化，电阻率变化大，从而提高了传感器的灵敏度，实现了高灵敏度的力传感。实现了高灵敏度的力传感。实现了高灵敏度的力传感。

【技术实现步骤摘要】
一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器


[0001]本技术涉及传感器领域，具体涉及一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器。

技术介绍

[0002]随着新材料和微纳米技术的发展，大量的柔性传感器被应用于机器人皮肤、智能假肢、可穿戴设备等领域。目前传感器根据能量和信息转换方式可以分为以下几类: 电容式、电阻式、压电式。相比其他形式的传感器，电容式传感器具有结构简单、灵敏度高、性能稳定等特点，引起越来越多的学者对其进行关注和研究。
[0003]常见的电容式压力传感器多以“三明治”结构为主，由上下两个电极及中间的介电层组成。对于介电层，由于弹性介电层杨氏模量的限制电容式压力传感器难以达到高灵敏度的要求。当前，改善电容式性能的方法主要有以下两种。一种是在中间介电层表面增加微结构，降低介电层的杨氏模量，增加形变能力，从而提高传感器的灵敏度性能。另一种就是在中间介电层中添加纳米材料改变传感器的介电常数。故研究适合的敏感材料或是微结构及其相关制作工艺是电容式柔性压力传感器发展的关键。

技术实现思路

[0004]基于上述问题，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器，其特征在于：包括电极，所述电极包括基底薄膜，所述基底薄膜之间设置有电介层薄膜，所述基底薄膜对应所述电介层薄膜的一侧设置有微结构，另一侧设置导电薄膜，两侧电极通过胶布与导线连接，所述微结构包括多个微型单元，所述微型单元包括一个以上的不同高度的金字塔凸部，所述金字塔凸部包括第一凸部和第二凸部，所述第一凸部的高度为h1，所述第二凸部的高度为h2，h1 ＞ h2，所述微型单元以第一凸部为中心，第二凸部设置于第一凸部的四周。2.根据权利要求1所述的一种带多级金字塔微结构的电容式柔性压力传感器，其特征在于：所述金字塔凸部还包括第三凸部，所述第三凸部的高度为h3，h1 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，章城，魏国，
申请(专利权)人：温州大学，
类型：新型
国别省市：