温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括炉体和一个以上的密封壳，所述密封壳呈环形结构均匀分布于炉体的外部，中心板的外圈面正对于密封壳处均安装有固定杆，固定杆一端均贴着炉体的外圈面垂直向下延伸，并安装有横向设置的定位杆，密封壳...
该专利属于滨州学院所有，仅供学习研究参考，未经过滨州学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。