本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括炉体和一个以上的密封壳，所述密封壳呈环形结构均匀分布于炉体的外部，中心板的外圈面正对于密封壳处均安装有固定杆，固定杆一端均贴着炉体的外圈面垂直向下延伸，并安装有横向设置的定位杆，密封壳的中心处均设有定位孔，定位杆一端均穿过定位孔设置，密封壳的顶面正对于固定杆处均设有缺口，定位杆远离炉体的端面上均设有螺丝孔，螺丝孔中均螺纹连接有螺杆，螺杆一端均安装有筒体。本实用新型专利技术结构简单，根据漏气的位置不同，能套上对应的密封壳，通过密封壳能将漏气处罩住，也能将炉体全部的罩住，避免了杂质的进入而影响气相沉积。而影响气相沉积。而影响气相沉积。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置
[0001]本技术涉及化学气相沉积设备
，具体涉及一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III
‑
V、II
‑
IV、IV
‑
VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
[0003]目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，现有的封闭式化学气相沉积炉没有防漏气装置，化学气相沉积炉漏气会有杂质进入导致沉积不均匀，镀层质量差等问题。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本技术是通过以下技术方案来实现的：一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括炉体和一个以上的密封壳，所述密封壳呈环形结构均匀分布于炉体的外部，炉体顶面的中心处安装有固定座，固定座上通过螺栓固定有中心板，中心板的外圈面正对于密封壳处均安装有固定杆，固定杆一端均贴着炉体的外圈面垂直向下延伸，并安装有横向设置的定位杆，密封壳的中心处均设有定位孔，定位杆一端均穿过定位孔设置，密封壳的顶面正对于固定杆处均设有缺口，定位杆远离炉体的端面上均设有螺丝孔，螺丝孔中均螺纹连接有螺杆，螺杆一端均安装有筒体，筒体一端均套设于定位杆上，筒体的端面上均安装有第一橡胶层，第一橡胶层均与密封壳的外壁面相抵，筒体的另一端上均安装有手轮。
[0006]作为优选的技术方案，一个以上的密封壳组合形成一筒状结构的壳体。
[0007]作为优选的技术方案，密封壳的开口端面上均安装有第二橡胶层，第二橡胶层一部分均延伸至缺口中，并均安装于缺口的内壁面上，缺口和固定杆的截面均呈矩形结构设置，缺口和固定杆之间均相匹配。
[0008]作为优选的技术方案，定位杆上均设有定位槽，定位孔的内壁面正对于定位槽处均安装有定位块，定位块均滑动安装于定位槽中，定位孔和定位块上均安装有第三橡胶层，第三橡胶层与定位杆和定位槽相抵。
[0009]本技术的有益效果是：本技术结构简单，根据漏气的位置不同，能套上对应的密封壳，通过密封壳能将漏气处罩住，也能将炉体全部的罩住，避免了杂质的进入而影响气相沉积，且操作方式简单，能快速的密封，增加了效率。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0011]图1为本技术的整体结构示意图；
[0012]图2为本技术中密封壳、固定杆和中心板的安装结构示意图。
具体实施方式
[0013]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0014]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0016]如图1和图2所示，本技术的一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括炉体1和一个以上的密封壳3，所述密封壳3呈环形结构均匀分布于炉体1的外部，炉体1顶面的中心处安装有固定座14，固定座14上通过螺栓固定有中心板2，中心板2的外圈面正对于密封壳处均安装有固定杆9，固定杆9一端均贴着炉体的外圈面垂直向下延伸，并安装有横向设置的定位杆11，密封壳3的中心处均设有定位孔，定位杆11一端均穿过定位孔设置，密封壳3的顶面正对于固定杆处均设有缺口7，定位杆11远离炉体的端面上均设有螺丝孔13，螺丝孔13中均螺纹连接有螺杆4，螺杆4一端均安装有筒体6，筒体6一端均套设于定位杆11上，筒体6的端面上均安装有第一橡胶层15，第一橡胶层15均与密封壳3的外壁面相抵，筒体6的另一端上均安装有手轮5。
[0017]本实施例中，一个以上的密封壳3组合形成一筒状结构的壳体，在炉体上存在多个漏气点后，为了增加其密封性，密封壳可全部的向内靠拢，直至使密封壳之间相抵，从而在炉体的外部包裹一筒体结构的壳体，将其炉体的外壁完全的罩住，以保证不漏气。
[0018]本实施例中，密封壳3的开口端面上均安装有第二橡胶层8，第二橡胶层8一部分均延伸至缺口7中，并均安装于缺口7的内壁面上，缺口7和固定杆9的截面均呈矩形结构设置，缺口7和固定杆9之间均相匹配。
[0019]本实施例中，定位杆11上均设有定位槽，定位孔的内壁面正对于定位槽处均安装有定位块，定位块均滑动安装于定位槽中，定位孔和定位块上均安装有第三橡胶层12，第三
橡胶层12与定位杆和定位槽相抵，通过第三橡胶层能将定位孔与定位杆之间的缝隙密封，也能将定位槽和定位块之间的缝隙密封，避免了密封壳的漏气。
[0020]其中，密封壳均套设于定位杆上，因此在不使用时，密封壳可从定位杆取下，且中心板和固定杆能从炉体上取下，方便了进行更换和维修；
[0021]本具体实施，一旦出现漏气情况后，将密封壳套设于对应的定位杆上，完成后，套上筒体，并将螺杆拧入螺丝孔中，在旋转筒体后，筒体能挤压密封壳，使密封壳能沿着定位杆和定位槽移动，直至使密封壳罩住炉体的外壁面上，有效的将炉体的漏气处密封，其中，通过第二橡胶层能将炉体与密封壳之间的缝隙密封，而固定杆能插入密封壳的缺口中，并与缺口的第二橡胶层密封，有效的将固定杆与缺口之间的缝隙密封，保证了密封性；反之，在拧下筒体后，密封壳就能直接的取下，大大的方便了操作。
[0022]以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，其特征在于：包括炉体(1)和一个以上的密封壳(3)，所述密封壳(3)呈环形结构均匀分布于炉体(1)的外部，炉体(1)顶面的中心处安装有固定座(14)，固定座(14)上通过螺栓固定有中心板(2)，中心板(2)的外圈面正对于密封壳处均安装有固定杆(9)，固定杆(9)一端均贴着炉体的外圈面垂直向下延伸，并安装有横向设置的定位杆(11)，密封壳(3)的中心处均设有定位孔，定位杆(11)一端均穿过定位孔设置，密封壳(3)的顶面正对于固定杆处均设有缺口(7)，定位杆(11)远离炉体的端面上均设有螺丝孔(13)，螺丝孔(13)中均螺纹连接有螺杆(4)，螺杆(4)一端均安装有筒体(6)，筒体(6)一端均套设于定位杆(11)上，筒体(6)的端面上均安装有第一橡胶层(15)，第一橡胶层(15)均与密...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴玲，
申请(专利权)人：滨州学院，
类型：新型
国别省市：
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