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本发明公开了属于光存储技术的一种新型高密度母盘刻录机，主要由固定于气浮转动台装在气浮转动台下面的控制系统精密控制。本发明空间结构布局紧凑、合理，采用高精度光栅上的径向运动的精密台及与之连接直立台，光学刻写头和母盘气浮主轴转动装置组成，并由安...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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