专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
杰宜斯科技有限公司
>
蚀刻装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载蚀刻装置的技术资料
文档序号:30661846
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明关于蚀刻装置,其包括蚀刻腔室、开闭蚀刻腔室的开闭单元及选择性地约束开闭单元的锁定单元。元的锁定单元。元的锁定单元。
...
该专利属于杰宜斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰宜斯科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。