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一种防止半导体硅片下机过程中掉落的装置,包括防掉机构,防掉机构包括第一主体、第二主体、锁紧部件、夹持部件,第一主体的底部与第二主体的底部铰接,锁紧部件包括第一锁紧板、第二锁紧板,第一锁紧板的一端与第一主体的侧部连接,第一锁紧板的自由端设有凸...该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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一种防止半导体硅片下机过程中掉落的装置,包括防掉机构,防掉机构包括第一主体、第二主体、锁紧部件、夹持部件,第一主体的底部与第二主体的底部铰接,锁紧部件包括第一锁紧板、第二锁紧板,第一锁紧板的一端与第一主体的侧部连接,第一锁紧板的自由端设有凸...