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本实用新型公开了一种单晶硅生长炉的冷却式热屏装置，包括热屏主体和连接环，所述连接环与所述热屏主体的顶端固定连接，所述热屏主体通过所述连接环与单晶硅生长炉相连接，所述热屏主体为呈喇叭形的圆筒状，所述热屏主体自内而外依次设置有内筒、若干组冷却管...
该专利属于永清县良晶半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过永清县良晶半导体设备有限公司授权不得商用。

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