下载通过光刻胶生产三维结构的技术资料

文档序号:30638868

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本发明涉及一种用于通过光刻胶生产三维结构,具体地用于产生处于微米到毫米范围内的台阶式结构的方法。寻找一种实现微机械和高性能电子结构的允许台阶式结构的基本上自由成型和高产出量生产的微结构的新的可能性的目的根据本发明通过以下得以实现:用第一光刻...
该专利属于激光影像系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过激光影像系统有限责任公司授权不得商用。

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