专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
JSR株式会社
>
感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件技术
>技术资料下载
下载感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件的技术资料
文档序号:30638864
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的课题在于提供一种保存稳定性优异且可形成耐化学品性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件。一种感放射线性组合物,含有:包含具有氧杂环丙基的第一结构单元与具有羧基的第二结构单元的聚合物成分;感光剂;选自由...
该专利属于JSR株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JSR株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。