下载感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件的技术资料

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本发明的课题在于提供一种保存稳定性优异且可形成耐化学品性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件。一种感放射线性组合物,含有:包含具有氧杂环丙基的第一结构单元与具有羧基的第二结构单元的聚合物成分;感光剂;选自由...
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