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本技术涉及制造MEMS气体传感器的方法，例如用于制造可以用作场非对称离子迁移谱过滤器的离子迁移过滤器的方法。该方法包括步骤：提供具有孔口的支撑件(S300、S302)；以及在支撑件中形成电连接(S304)。该方法还包括步骤：将电极层附接到支...
该专利属于奥斯通有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥斯通有限公司授权不得商用。

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