温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及等离子产生单元及等离子处理装置，包括：第一电极部，包括在内部具有插入孔的绝缘性的主体和配置在所述主体的外周面的导电部件，以及导电性的第二电极部，在内部具有与所述第二电极部的一端连通的气体注入孔，且另一端区域以能够插入所述第一电极部...
该专利属于飞格儿有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞格儿有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。