下载具有电绝缘可动部分的静电微致动器和相关的驱动电路的技术资料

文档序号:3063193

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一种双向静电旋转微致动器,具有两组固定电极,一组用于逆时针驱动该微致动器,另一组用于顺时针驱动它,还具有可旋转框架,它具有连接至该可旋转框架外壁的可动电极,该可动电极在固定电极之间交错。在连接有可动电极的外壁和框架的剩余部分之间设置绝缘材料...
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