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一种模版形成方法，其用以形成一模版，其特征在于，包含：　　　　于一基版上涂布一光阻层；　　　　于该光阻层上形成一图案化的半遮蔽层；　　　　以一光束曝光该光阻层，其中该半遮蔽层削减该光束的能量以部分遮蔽该光束；　　　　显影该光阻层；以及　　　...
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