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本实用新型公开了一种基于亚波长光栅的硅基偏振分束芯片，其包括：一硅基衬底；一设置在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；一设置在所述二氧化硅缓冲层上的基于硅波导的芯层，其包括：从左到右依次相连的一输入直波导、一第一亚波长光栅结构和一正弦函数弯曲波...
该专利属于苏州科沃微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科沃微电子有限公司授权不得商用。

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