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一种双垂直自旋阀制造技术
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下载一种双垂直自旋阀的技术资料
文档序号:3060711
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一种制备双垂直自旋阀的方法及其结构,采用玻璃或单晶硅基片,通过等离子体溅射、磁控溅射或者分子束外延生长手段制备而成的一种金属多层膜结构,然后通过照相平版印刷或电子束印刷、离子刻蚀的手段分别在金属多层膜的顶层和底层膜面制作出两个电极,使该自旋...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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