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本发明提供的银合金溅射靶由以下银合金构成，（１）含有Ｚｎ：０．１～２０质量％、Ａｌ：０．１～３质量％，剩余部为Ａｇ的组成的银合金，（２）含有Ｚｎ：０．１～２０质量％、Ａｌ：０．１～３质量％，还含有Ｃａ、Ｂｅ、Ｓｉ中任选一种或两种以上的合计：...
该专利属于三菱麻铁里亚尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱麻铁里亚尔株式会社授权不得商用。

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