下载一种硅片检测装置及硅片分选设备的技术资料

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本实用新型提供了一种硅片检测装置及硅片分选设备,硅片检测装置包括安装支架、第一厚度检测组件、第二厚度检测组件、第三厚度检测组件及方阻检测组件,其中:安装支架包括第一安装板和第二安装板,第一安装板和第二安装板之间保持有检测空间;第一安装板上设...
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