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本实用新型涉及一种晶圆电镀设备用搅拌装置，晶圆电镀设备包括电镀槽、供电电源、电镀阳极、遮蔽板和晶圆挂具，电镀阳极、晶圆挂具以及遮蔽板三者相平行地设置于电镀槽内，搅拌装置包括搅拌板、导引轮、行进轨道和驱动电机，搅拌板设置于遮蔽板与晶圆挂具之间...
该专利属于昆山成功环保科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山成功环保科技有限公司授权不得商用。

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