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一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。本实用新型具有如下有...
该专利属于杭州大和江东新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州大和江东新材料科技有限公司授权不得商用。

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