一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置制造方法及图纸

一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。本实用新型专利技术具有如下有益效果：（1）通过设置微孔陶瓷部和气槽对产品均匀吸附固定，保证产品的平稳固定及平面度；（2）微孔陶瓷部包括多个饼和环，扩大适用产品范围；（3）结构简单、方便实用；（4）产品制作过程操作简单，便捷高效。捷高效。捷高效。

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置


[0001]本技术涉及陶瓷加工领域，尤其涉及一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置。

技术介绍

[0002]氧化铝陶瓷具有高强度、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀的性能特点，广泛应用于半导体、LED、医疗、新能源及航空航天等领域。在氧化铝陶瓷的制造过程中，根据产品使用需求，需要对精密氧化铝陶瓷薄板平面度进行加工处理。对于规则平面类产品的平面度，选用平面磨床加工效率较快，而且精度较高，平磨常规的装夹是通过挡块约束、黏蜡加工等方法，用上述方法装夹，加工过程中产品与平台之间受力不均匀，容易导致产品变形，尤其是对直径较大、厚度较小的氧化铝薄板，其平面度难以达到要求。
[0003]例如一种在中国专利文献上公开的“一种用于精密陶瓷产品加工的装置”，其公开号CN207788646U，用于精密陶瓷产品的外径、外径段差和圆饼类中间凹部台级的磨削，装置包括机架、置于机架上的回转台、驱动回转台旋转的电机和设于回转台表面的治具，机架固置于平面磨床工作平台上，治具通过若干压板固置于回转台表面且与回转台同心，精密陶瓷产品固置于治具表面且与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台（1），其特征是，所述基台（1）设有真空吸盘、气管（4）和气泵（5），所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部（3），所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管（4）两端分别连接气槽和气泵（5）。2.根据权利要求1所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述真空吸盘包括分体设置的吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）上方嵌入微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）与微孔陶瓷部（3）粘接，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）之间形成气槽，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）的上表面平齐。3.根据权利要求2所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述微孔陶瓷部包括中间的微孔陶瓷饼（31）和同心设置在微孔陶瓷饼（31）外侧的微孔陶瓷环，所述微孔陶瓷饼（31）和微孔陶瓷环间隔设置且...

【专利技术属性】
技术研发人员：王轶军，姚相民，马玉琦，李奇，蔡德奇，周斌，
申请(专利权)人：杭州大和江东新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：