下载用于暴露记录头上主极的样品准备方法和系统的技术资料

文档序号:3056384

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本发明涉及一种用于样品准备的方法。该方法包括机械地抛光嵌入在样品结构内的记录头的主极上的绝缘层的一部分。垂直与所述主极邻接的气垫面以平坦层的形式从上向下抛光该绝缘层。该方法还包括选择性湿蚀刻所述绝缘层的剩余部分从而暴露所述主极,其中所述绝缘...
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