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本发明是有关于一种碟片原版制作方法，其包括沉积一硬遮罩层于一基板上，涂布一蚀刻速率大于硬遮罩层的蚀刻速率的光阻层于硬遮罩层之上，激光刻版光阻层及硬遮罩层并进行显影，蚀刻基板并移除光阻层，以及移除硬遮罩层。...
该专利属于精碟科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精碟科技股份有限公司授权不得商用。

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