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原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法技术
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文档序号:30557969
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本发明公开了一种原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法,具体实施方式如下:先对基体进行清洗,然后进行退火预处理,将处理后的基体再进行清洗并晾干备用;将钛源、氟源、酸和异丙醇均匀混合并充分搅拌,配置成反应前驱液备用;将基体与反...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。
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