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制造磁光装置的方法，其中至少一个线圈（３）被嵌入到氧化物层（２）中，其中给氧化物层（２）提供至少一个开口（４）。其中，利用所述线圈（３）的至少一匝（６）的倾斜侧壁（６），所述开口（４）被选择性地蚀刻在所述氧化物层（２）中。...
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