下载一种石墨烯靶材的制备及其在磁控溅射沉积低摩擦碳薄膜中的应用的技术资料

文档序号:30546265

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种石墨烯靶材的制备方法,是将石墨烯和乙二醇搅拌混合均匀,干燥至手捏可以成型的至半干状态,然后置于铣好的铜制靶座模具中,加载压力100~110 MPa,保压1~1.5小时,然后在真空中环境中干燥,即得石墨烯靶材。本发明以石墨烯靶材...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。