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本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，具体为一种新型干法刻蚀设备，限位销与限位孔插接，限位孔内壁左右两端上侧均开有插口，插口上端贯通托盘，限位孔内壁中间开有一圈环形槽。在将限位销插入限位孔中时，通过对准侧块与插口插入，这样随着侧块垂直往下滑入环形...
该专利属于上海欧勋机电工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海欧勋机电工程有限公司授权不得商用。

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