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本申请公开了一种光纤与光波导耦合的方法、结构和晶圆测试方法，该方法包括：在晶圆的块Block中制作所需要的波导；在波导的一端刻蚀出槽，其中，所述槽用于在于所述波导成第一预定角度的方向上插入光纤；将待插入所述槽的光纤的端面切割为第二预定角度，...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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