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公开了III族氮化物器件以及制备基于III族氮化物的器件的方法。在实施例中，基于III族氮化物的晶体管器件包括：第一钝化层，其被布置在基于III族氮化物的底部层的第一主表面上；第二钝化层，其被布置在第一钝化层上；源极欧姆接触、漏极欧姆接触和...
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