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一种多晶硅表面织构化工艺制造技术
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下载一种多晶硅表面织构化工艺的技术资料
文档序号:30530389
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本发明涉及一种多晶硅表面织构化工艺,采用二次腐蚀法制备高质量的多晶硅绒面,包括以下步骤:电化学预腐蚀多晶硅,电化学腐蚀溶液为体积分数为40%的氢氟酸与体积分数为99.7%的无水乙醇的混合液,体积比为1:2;将多晶硅片置于腐蚀溶液中,对P型多...
该专利属于中建材浚鑫科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中建材浚鑫科技有限公司授权不得商用。
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