下载一种多晶硅表面织构化工艺的技术资料

文档序号:30530389

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种多晶硅表面织构化工艺,采用二次腐蚀法制备高质量的多晶硅绒面,包括以下步骤:电化学预腐蚀多晶硅,电化学腐蚀溶液为体积分数为40%的氢氟酸与体积分数为99.7%的无水乙醇的混合液,体积比为1:2;将多晶硅片置于腐蚀溶液中,对P型多...
该专利属于中建材浚鑫科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中建材浚鑫科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。