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一种可控生长硫化铅复合薄膜气体传感器及其制备方法技术
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文档序号:30528259
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本发明提供的一种可控生长硫化铅复合薄膜气体传感器及其制备方法,属于气体传感技术领域,气体传感器包括依次的衬底、在衬底表面制备的叉指电极、在衬底表面制备的对金属离子有吸附性能的过渡层敏感薄膜及通过连续离子层吸附与反应法合成的硫化铅薄膜,通过设...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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