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本发明实施例公开了一种晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括根据工艺控制监控单元反馈的检测参数确定检测参数矩阵；将检测参数矩阵输入工艺故障预测模型；获取工艺故障预测模型输出的预测结果矩阵；晶圆包括器件放置区，器件放置区...
该专利属于苏州海光芯创光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州海光芯创光电科技股份有限公司授权不得商用。

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