温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，且公开了半导体材料研磨抛光机，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有L形板，所述L形板的内部固定连接有第一电动缸，所述第一电动缸的输出端固定连接有位于L形板内侧的连接壳，所述连接壳的外侧活动连接有延伸至...
该专利属于天津工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。