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承载盘及承载盘堆叠组件制造技术
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下载承载盘及承载盘堆叠组件的技术资料
文档序号:30525452
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本实用新型涉及承载盘及承载盘堆叠组件。承载盘包含承载部、围绕壁部以及至少一个凹陷结构。承载部具有顶面以及与顶面相对的底面。围绕壁部环设于承载部。凹陷结构凹陷于承载部,凹陷结构具有开口及凹陷空间,凹陷空间经开口对外连通。凹陷空间沿第一方向具有...
该专利属于瑞仪光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞仪光电股份有限公司授权不得商用。
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