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盘片装置制造方法及图纸
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文档序号:3052493
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在直径相异的2种圆盘状盘片的任一者皆可自动装载驱动的吸入式盘片装置中,可确实夹紧自动装载的盘片,确实防止盘片残留于装置内部等故障的发生。通过支持着直径相异的2种盘片的外周缘而可输送盘片的多个臂,将插入的盘片以自动装载方式送入装置内部,或将收...
该专利属于蒂雅克股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过蒂雅克股份有限公司授权不得商用。
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