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本发明公开了一种湿法刻蚀设备及其管理方法，湿法刻蚀设备包括缓冲区和刻蚀区，在缓冲区内靠近刻蚀区的入口处设置有气雾监控装置，以在入口打开时监控从刻蚀区扩散至缓冲区的气雾的颗粒数量；气雾监控装置与湿法刻蚀设备的上位机连接，在气雾的颗粒数量积累到...
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